اصلی
منبع یونی KRI Gridless
CTI داخلی IS 低温泵
دریچه مستطیل خلاء HVA
پمپ مولکولی توربو شناور مغناطیسی کامل
سرد کننده های Thermonics
ابزار و متر
پمپ مولکولی مغناطیسی ATH 1600 MT
Thermonics دمای پایین سرد کننده A-80-1700
دستگاه یونی Hakuto IBE
دستگاه یونی Hakuto 20IBE-J
دریچه های خلاء مستطیل HVA (دریچه های پلاگین) سری 88200
CTI آنبورد® IS 320FX 低温泵
سری یون های KRI Gridless eH
منبع یون هال KRI eH 400
منبع یون هال KRI eH 1000
خلاء کاتود حرارتی PBR 260 IMR 265
عمليات موفق!