Ø مناسب برای اکثر نمونه ها، از جمله ورق های نازک، پودر، قطعات، نمونه های شفاف و غیر شفاف، بدون نیاز به تزریق کربن یا تزریق طلا بر روی نمونه.
Ø میکرو تجزیه و تحلیل مواد معدنی یا نمونه از طریق سوراخ های مختلف اندازه (حداقل 50 ~ 100 میکرومتر) و همچنین می تواند با تنظیم اندازه پرتو، متوسط مواد معدنی ناشناخته را بدست آورد.
Ø شعاع الکترونی تحریک شدت فلوروسنت اشعه ایکس بالا، شدت بیش از 4-5 درجه مقدار از شدت تحریک منبع تحریک اشعه ایکس، حساسیت تجزیه و تحلیل بالا، زمان آزمایش کوتاه است.
Ø عمق نمونه ورودی پرتو الکترونی بسیار کم است (تنها حدود 1-2 میکرومتر) و یک تجزیه و تحلیل واقعی سطحی است.
Ø به جز تشخیص اشعه ایکس ویژگی تحریک، هیچ سیگنال دیگری از سر و صدا تشخیص داده نمی شود، نتایج تجزیه و تحلیل دقیق تر است.
محدوده عناصر قابل تشخیص توسط آشکارساز 11 (Na) ~ 92 (U) است. به ویژه برای عناصر اصلی مانند Na، Mg، Al، Si، P، S، Cl، K، Ca، Ti، V، Cr، Mn، Fe، Co، Ni، Cu، Zn، نتایج تجزیه و تحلیل حساسیت بالایی دارند و تکرار خط طیف خوب است.
Ø تحلیل کامل، قابلیت تشخیصی داخلی، عملیات کاملا خودکار، نرم افزار تحلیل یک کلیک، عملیات ساده.