شرکت VacCoat

شرکت Vac Coat Ltd طراح و تولید کننده سیستم های سفارشی با کیفیت بالا برای رسوب گاز فیزیکی (PVD) با خدمات مشتری و خدمات پس از فروش عالی است. دارای بیش از 25 سال تجربه در فناوری تخلیه خلاء و فیلم نازک. تیم تحقیق و توسعه آن با پشتیبانی دانشمندان و مهندسان دانشگاهی، بسیار فعال در توسعه طراحی های جدید برای برآورده کردن نیازهای ویژه مشتری است.

تیم مهندسی Vac Coat اجزای خود را با استانداردهای کیفیت بالا طراحی و تولید می کند. سیستم های ماشین پوشش خلاء Vac Coat از طریق توزیع کنندگان به بسیاری از دانشگاه ها و مراکز تحقیقاتی فروخته شده اند و مرجع و بازخورد خوبی دریافت کرده اند.

یک، DSR1

توضیحات ابزار:

این محصول یک ماشین پوشش اسپرتر مغنترون میزی است که قادر به پوشش فیلم های طلا (Au) ، پلاتینیوم (Pd) ، پلاتینیوم (Pt) و طلا / پلاتینیوم (Au / Pd) بر روی نمونه های غیر هدایت کننده یا ضعیف هدایت است. فیلم های یکنواخت با ذرات ظریف در زمان کوتاهی تشکیل می شوند که نمونه ها را برای تجزیه و تحلیل میکروسکوپ الکترونی اسکن (SEM) مناسب می کند. ساختار جمع و جور ابزار، کنترل کاملا اتوماتیک، طراحی مطابق با مهندسی انسان، نتایج منسجم، تکرار بالا.

ویژگی های محصول:

صفحه نمایش لمسی رنگی 7 اینچی: ورودی داده های ساده و سریع

• تشخیص بصری داده ها و منحنی ها از طریق صفحه لمسی؛ صفحه تاریخچه می تواند 300 اطلاعات پوشش تاریخی را نشان دهد.

• سرعت پوشش قابل کنترل، می تواند ساختار دانه های ظریف تر را بدست آورد

• دستی یا خودکار، با توجه به زمان یا ضخامت

• به روز رسانی نرم افزار کاربر دوستانه

مانیتور ضخامت کریستال کوارتز با دقت بالا (دقت 1 نانومتر)

• جایگزینی ساده میز نمونه: میز نمونه چرخشی استاندارد یا میز نمونه چرخشی سیاره ای انتخابی. میز نمونه استاندارد قابل تنظیم در ارتفاع، شیب و چرخش؛ میز نمونه چرخشی سیاره ای اثر خوب طلا را برای نمونه های متنفر به ارمغان می آورد.

• قابلیت انتقال داده های فرآیند منحنی و رسوب به PC از طریق پورت USB

• مطابق با استانداردهای CE

：

• کاتود مغنترون 2 اینچی

پمپ مکانیکی دو مرحله ای با محرک مستقیم 4m3 / h

• انبار نمونه Pyrex: قطر خارجی 170 میلیمتر، ارتفاع 140 میلیمتر،

ابعاد: 50 (W) x 37 (D) × 45 (H) Cm

وزن حمل و نقل (از جمله پمپ خلاء): 42 کیلوگرم

منبع تغذیه: 220V-240V، 50 / 60HZ-10A

حداکثر خلاء: کمتر از 40 mTorr

• شاتر کنترل الکترونیکی

• دریچه های خلاء کنترل الکترونیکی

دوم، DCR

توضیحات ابزار:

DCR یک کربنگر میزی با ساختار جمع و جور است. می تواند برای میکروسکوپ الکترونی اسکن (SEM) ، میکروسکوپ الکترونی انتقال (TEM) و تجزیه و تحلیل طیف انرژی (EDX) استفاده شود.

ویژگی های محصول:

• کربن پوشش فلش یا پالس: پالس پوشش پالس: پالس کوتاه روش رسوب کنترل پذیرتر را فراهم می کند و زباله ها را به طور قابل توجهی در مقایسه با کربن پوشش سنتی کاهش می دهد

صفحه لمسی رنگی 7 اینچ: ورودی داده ها سریع و ساده است. پارامترهای پوشش مانند خلاء، جریان، ضخامت می توانند از طریق داده ها یا منحنی در صفحه لمسی بصری نظارت شوند. صفحه تاریخچه می تواند 300 اطلاعات پوشش تاریخی را نشان دهد.

• به روز رسانی نرم افزار کاربر دوستانه

• قابل ثبت و نقاشی نمودار پارامترهای پوشش

مانیتور ضخامت کریستال کوارتز با دقت بالا (دقت 1 نانومتر)

• جایگزینی ساده میز نمونه: میز نمونه چرخشی استاندارد یا میز نمونه چرخشی سیاره ای انتخابی. میز نمونه استاندارد قابل تنظیم در ارتفاع، شیب و چرخش؛ میز نمونه چرخشی سیاره ای اثر خوب طلا را برای نمونه های متنفر به ارمغان می آورد.

• قابلیت انتقال داده های فرآیند منحنی و رسوب به PC از طریق پورت USB

• مطابق با استانداردهای CE

：

پمپ خلاء: پمپ مکانیکی دوقطبی (4m3 / h)

محدودیت خلاء: کمتر از 50 mTorr

3، انبار نمونه Pyrex: قطر خارجی 170 میلی متر، 140 میلی متر،

منبع تغذیه سوئیچ DC پالس 0-25 A

اندازه: 450 x 500 x 370 میلیمتر (H x W x D)

منبع تغذیه: 220V-240V، 50 / 60HZ-10A

7- کنترل الکترونیکی

8، دریچه کنترل دقیق فشار خلاء

9- پورت انتقال داده USB

وزن حمل و نقل: 46 کیلوگرم

سه، DSCR

توضیحات ابزار:

پوشش دهنده چند منظوره میز DSCR یک سیستم پوشش جمع و جور است که سیستم اسپری پلازمور و سیستم کربن پوشش در یک است. این سیستم می تواند فلزات گرانبها مانند طلا (Au) ، پلاتینیوم (Pd) ، پلاتینیوم (Pt) و طلا / پلاتینیوم (Au / Pd) را بر روی نمونه های غیر هدایت یا ضعیف هدایت الکتریکی سپترینگ کند و می تواند روی نمونه ها فیلم کربنی پوشش دهد.

DSCR یک دستگاه چند منظوره برای نمونه گیری میکروسکوپ الکترونی اسکن است. گزینه های عملیات کاملا خودکار حتی برای مبتدیان به راحتی از سیستم استفاده می کند، تصویر نرم افزار کاربر دوستانه، درک اطلاعات ذخیره سازی را ساده می کند.

ویژگی های محصول:

• پوشش دقیق قابل تکرار: رسوب ضخامت فیلم قابل تکرار

پوشش دقیق با وضوح بالا (ذرات طلا تا 2nm)

• اسپری فشار پایین

• بدون نیاز به سیستم خنک کننده

• کربن پوشش فلش یا پالس: پالس پوشش پالس: پالس کوتاه روش رسوب کنترل پذیرتر را فراهم می کند و زباله ها به طور قابل توجهی در مقایسه با کربن پوشش سنتی کاهش می یابند.

• آسان برای استفاده: کنترل بصری روی صفحه لمسی رنگی 7 اینچ، ورودی داده های ساده و سریع

• نرم افزار کنترل کاملا خودکار و نیمه خودکار

مانیتور ضخامت کریستال کوارتز با دقت بالا (دقت 1 نانومتر)

• جایگزینی ساده میز نمونه: میز نمونه چرخشی استاندارد یا میز نمونه چرخشی سیاره ای انتخابی. میز نمونه استاندارد قابل تنظیم در ارتفاع، شیب و چرخش؛ میز نمونه چرخشی سیاره ای اثر خوب طلا را برای نمونه های متنفر به ارمغان می آورد.

• قابلیت انتقال داده های فرآیند منحنی و رسوب به PC از طریق پورت USB

• مطابق با استانداردهای CE

：

پمپ خلاء: پمپ مکانیکی چرخشی مستقیم (4m3 / h)

انبار نمونه Pyrex: قطر خارجی 170 میلی متر، 140 میلی متر

اندازه ابزار: 45 (H) x 50 (W) 37 × D (Cm)

کاتود مغنترون 4 و 2 اینچی

محدودیت خلاء: کمتر از 50 mTorr

6- کنترل الکترونیکی

7، کنترل خودکار دریچه نشت

منبع تغذیه: 220V-240V، 50/60HZ-10A

منبع تغذیه سوئیچ 80W DC

وزن حمل و نقل: 42 کیلوگرم

چهارم، DST1-170

توضیحات محصول:

DST1-170 یک اسپراتور یونی مغنترون میزی با ساختار جمع و جور است. برای اسپری مواد فلزی، از جمله فلزات بیکار و فلزات اکسیداتیو، DST1-170 مجهز به کاتد مغنترون با قطر 2 اینچ است. در زمان کوتاهی می توان یک فیلم با اندازه یکنواخت دانه تشکیل داد.

DST1-170 اسپریتر خلاء بالا، می تواند فیلم یکنواخت با کیفیت بالا، با اندازه دانه کوچکتر، بسیار مناسب برای وضوح نمونه و کیفیت مشخصات، مانند FE-SEM، EDS / WDS، TEM و EBSD، همچنین می تواند در تحقیقات علمی و تحقیقات کاربردی مختلف فیلم نازک، مانند: نانو و میکروالکترونیک، کاربردهای سلول های خورشیدی، سنسور فیلم سنگ پوشش اجزای نوری و غیره استفاده شود.

ویژگی های محصول:

پمپ توربون با خلاء بالا 90 L/S (Leybold) + پمپ خلاء چرخشی درجه دوم پمپ جلو، خلاء پاک و بالا را برای ابزار فراهم می کند و آلودگی را کاهش می دهد.

• سرعت پوشش قابل کنترل برای ساختار دانه های ظریف تر

• دستی یا خودکار، با توجه به زمان یا ضخامت

صفحه لمسی رنگی 7 اینچ: ورودی داده ها سریع و ساده است. پارامترهای پوشش مانند خلاء، جریان، ضخامت می توانند از طریق داده ها یا منحنی در صفحه لمسی بصری نظارت شوند. صفحه تاریخچه می تواند 300 اطلاعات پوشش تاریخی را نشان دهد.

• صفحه لمسی به طور بصری فرآیند پوشش را کنترل می کند و ورودی داده ها سریع و ساده است

• نرم افزار کاربر دوستانه قابل به روز رسانی از طریق شبکه

• ضبط و نقاشی پارامترهای پوشش

مانیتور ضخامت کریستال کوارتز با دقت بالا (دقت 1 نانومتر)

• جایگزینی ساده میز نمونه: میز نمونه چرخشی استاندارد یا میز نمونه چرخشی سیاره ای انتخابی. میز نمونه استاندارد قابل تنظیم در ارتفاع، شیب و چرخش؛ میز نمونه چرخشی سیاره ای اثر خوب طلا را برای نمونه های متنفر به ارمغان می آورد.

• قابلیت انتقال داده های فرآیند منحنی و رسوب به PC از طریق پورت USB

• مطابق با استانداردهای CE

：

پمپ توربونی با خلاء بالا 90 L/S (Leybold)

پمپ مکانیکی دوقطبی (4m3/h)

خلاء: کمتر از 5x10-6 Torr

کنترل خودکار قدرت اسپری مستقل از فشار

خلاء سنج کامل (Leybold)

دریچه پروانه ISO-KF 63

منبع برق DC 80 W

8- کنترل الکترونیکی

9، دریچه کنترل الکترونیکی نشت گاز آرگون

امکانات: 220V-240V، 50/60HZ-16A

وزن حمل و نقل: 36 کیلوگرم

پنج، DCT

توضیحات محصول:

DCR یک پوشش دهنده کربن مجهز به پمپ توربو است که فیلم کربن با کیفیت بالا با ذرات یکنواخت را برای نمونه هایی که نیاز به وضوح بالا و مشخصات با کیفیت بالا دارند، به ویژه برای FE-SEM، EDS / WDS، TEM، EBSD و تحقیقات کاربردی فیلم نازک و غیره ارائه می دهد.

ویژگی های محصول:

• کربن پوشش فلش یا پالس: پالس پوشش پالس: پالس کوتاه روش رسوب کنترل پذیرتر را فراهم می کند و زباله ها را به طور قابل توجهی در مقایسه با کربن پوشش سنتی کاهش می دهد

صفحه لمسی رنگی 7 اینچ: ورودی داده ها سریع و ساده است. پارامترهای پوشش مانند خلاء، جریان، ضخامت می توانند از طریق داده ها یا منحنی در صفحه لمسی بصری نظارت شوند. صفحه تاریخچه می تواند 300 اطلاعات پوشش تاریخی را نشان دهد.

• به روز رسانی نرم افزار کاربر دوستانه

• قابل ثبت و نقاشی نمودار پارامترهای پوشش

مانیتور ضخامت کریستال کوارتز با دقت بالا (دقت 1 نانومتر)

• جایگزینی ساده میز نمونه: میز نمونه چرخشی استاندارد یا میز نمونه چرخشی سیاره ای انتخابی. میز نمونه استاندارد قابل تنظیم در ارتفاع، شیب و چرخش؛ میز نمونه چرخشی سیاره ای اثر خوب طلا برای نمونه های متنفر را به ارمغان می آورد

• قابلیت انتقال داده های فرآیند منحنی و رسوب به PC از طریق پورت USB

• قابلیت استفاده از منبع تبخیر میله کربن و انطباق با منبع برق جریان بزرگ

• مطابق با استانداردهای CE

：

پمپ مولکولی توربو با خلاء بالا 90 l/s Leybold

پمپ خلاء چرخشی مرحله دوم به عنوان پمپ اولیه پمپ مولکولی

3- اندازه گیری خلاء کامل

4، مخزن خلاء: قطر خارجی 170 میلی متر، 140 میلی متر

منبع تغذیه سوئیچ DC پالس 0-25 A

حداکثر خلاء: کمتر از 50 × 10-6 Torr

اندازه: 450 x 500 x 370 میلیمتر (H × W × D)

منبع تغذیه: 220V-240V، 50 / 60HZ-10A

دریچه اندازه گیری دقیق برای کنترل دقیق فشار خلاء

۱۰- کنترل الکترونیکی

11- نمودار پارامترهای پوشش در زمان واقعی

پورت انتقال داده USB

وزن حمل و نقل: 46 کیلوگرم

شش، DSCT

توضیحات محصول:

DSCT یک سیستم پوشش چند منظوره است که دستگاه پوشش اسپری و دستگاه پوشش فیبر کربن را در یک دستگاه ترکیب می کند: یک سر مغناطیسی قابل تعویض در یک دستگاه.

دستگاه پوشش خلاء بالا DSCT، می تواند فیلم های یکنواخت با کیفیت بالا با اندازه دانه های ظریف را برای نمونه هایی که نیاز به وضوح بالا و مشخصات با کیفیت بالا دارند، مانند FE-SEM، EDS / WDS، TEM و EBSD ارائه دهد.

DSCT دارای کاتود مغنترون 2 ''، منبع تغذیه سوئیچ جریان مستقیم 80 وات و منبع تغذیه جریان بزرگ تبخیر کربن است که همچنین می تواند در تحقیقات علمی و تحقیقات کاربردی فیلم های مختلف استفاده شود.

ویژگی های محصول:

پمپ توربون با خلاء بالا 90 L/S (Leybold) + پمپ خلاء چرخشی درجه دوم پمپ جلو، خلاء پاک و بالا را برای ابزار فراهم می کند و آلودگی را کاهش می دهد.

• سرعت پوشش قابل کنترل برای ساختار دانه های ظریف تر

• کربن پوشش فلش یا پالس: پالس پوشش پالس: پالس کوتاه روش رسوب کنترل پذیرتر را فراهم می کند و زباله ها را به طور قابل توجهی در مقایسه با کربن پوشش سنتی کاهش می دهد

• دستی یا خودکار، با توجه به زمان یا ضخامت

صفحه لمسی رنگی 7 اینچ: ورودی داده ها سریع و ساده است. پارامترهای پوشش مانند خلاء، جریان، ضخامت می توانند از طریق داده ها یا منحنی در صفحه لمسی بصری نظارت شوند. صفحه تاریخچه می تواند 300 اطلاعات پوشش تاریخی را نشان دهد.

• صفحه لمسی به طور بصری فرآیند پوشش را کنترل می کند و ورودی داده ها سریع و ساده است

• نرم افزار کاربر دوستانه قابل به روز رسانی از طریق شبکه

• ضبط و نقاشی پارامترهای پوشش

مانیتور ضخامت کریستال کوارتز با دقت بالا (دقت 1 نانومتر)

• میز نمونه ساده: میز نمونه چرخشی استاندارد یا میز نمونه چرخشی سیاره ای انتخابی. میز نمونه استاندارد قابل تنظیم در ارتفاع، شیب و چرخش؛ میز نمونه چرخشی سیاره ای اثر خوب طلا را برای نمونه های متنفر به ارمغان می آورد.

• قابلیت انتقال داده های فرآیند منحنی و رسوب به PC از طریق پورت USB

• مطابق با استانداردهای CE

：

خلاء حداکثر: کمتر از 5×10-6 Torr

کنترل خودکار سرعت اسپری مستقل از فشار

جریان سنج جرم دقیق برای کنترل دقیق فشار خلاء (MFC)

انتقال داده های منحنی و رسوب به PC از طریق پورت USB

امکانات: 220V-240V، 50/60HZ-16A

وزن حمل و نقل: 42 کیلوگرم

انتخاب کل مدل:

ویژگی های ابزار:

VacCoat دارای مدل های طلا و کربن پوشش یونی، و مدل های طلا و کربن پوشش است، کاربران می توانند مدل های مختلف با خلاء بالا و خلاء کم را بر اساس کاربرد خود انتخاب کنند.

پوشش دهنده VacCoat، فیلم های یکنواخت با کیفیت بالا با اندازه دانه های ظریف را ارائه می دهد که برای وضوح بالا و مشخصات نمونه مناسب است.

• سیستم زرق طلا دارای کاتود مغنترون 2 ''، ساختمان مغنترون، کاهش آسیب نمونه؛

• سیستم پوشش کربن مجهز به منبع تغذیه سوئیچ جریان مستقم 80W و تخمیر کربن در جریان بزرگ است، همچنین می تواند در تحقیقات علمی و تحقیقات کاربردی فیلم های مختلف استفاده شود.

• سیستم کربن پوشش می تواند فلش یا پالس پوشش شود: پالس پوشش پالس: پالس کوتاه روش رسوب کنترل پذیرتر را فراهم می کند و زباله ها را به طور قابل توجهی در مقایسه با کربن پوشش سنتی کاهش می دهد

پمپ مولکولی توربو 90 لیتر در ثانیه Leybold

• استفاده از پمپ خلاء چرخشی مرحله دوم به عنوان پمپ اولیه پمپ مولکولی

• مجهز به اندازه گیری خلاء کامل

• قابلیت استفاده از مانیتور ضخامت کریستال کوارتز با دقت بالا، ضخامت اندازه گیری می تواند تا 1 نانومتر باشد.

• صفحه لمسی به طور بصری فرآیند پوشش را کنترل می کند، ورودی داده ها ساده و سریع است

• نرم افزار کاربر دوستانه قابل به روز رسانی از طریق شبکه

• سرعت پوشش قابل کنترل، می تواند ساختار دانه های ظریف تر را بدست آورد

• می تواند به صورت دستی یا خودکار، با توجه به زمان یا با توجه به ضخامت، عملیات ساختمان انعطاف پذیر و آسان

• ضبط و نقاشی پارامترهای پوشش

• مجهز به شاتر الکترونیکی

• تعویض نمونه میز ساده: قفسه نمونه استاندارد، ارتفاع قابل تنظیم اختیاری؛ همچنین قابلیت استفاده از قفسه نمونه چرخشی سیاره ای برای نمونه های متنفر