ویژگی های محصول:

تکنولوژی تمیز کردن پلازما حدود 30 سال پیش در صنعت نیمه هادی آغاز شد و تمیز کردن پلازما عمدتا برای تمیز کردن هیدروکربن های سطح نمونه استفاده می شود. نکته کلیدی تمیز کردن پلازما این است که: ترکیب شیمیایی خود نمونه را نمی توان تغییر داد. نمی توان ویژگی های ساختاری نمونه را تغییر داد. به سطح نمونه آسیب نمی رساند.
SOLARUS - سیستم جدید و پیشرفته تمیز کردن پلازما برای حذف آلودگی هیدروکربن ها در میز نمونه TEM و SEM یا نمونه ها. سولاروس نسل جدیدی از سیستم های پلازمایی است که با مفاهیم و تکنولوژی های جدید، عملکرد بهتری، عملیات آسان و تمیز کردن خوب دارد. در مقایسه با هر سیستم تمیز کننده پلازما دیگری که در بازار وجود دارد، Solarus می تواند اثر تمیز کننده موثر را ارائه دهد.

معرفی برند:

شرکت GATAN در سال 1964 تاسیس شد و در اواخر دهه 1970 وارد بازار چین شد. شرکت GATAN به خاطر عملکرد بالای محصولات و پیشرفت فناوری خود در دنیای الکتروسکوپ شهرت بسیار بالایی دارد.

به عنوان یک تولید کننده پیشرو در جهان طراحی و تولید لوازم جانبی برای افزایش و گسترش قابلیت میکروسکوپ الکترونیکی، محصولات آن نیازهای همه مراحل را از آماده سازی نمونه تا تصویربرداری و تجزیه و تحلیل پوشش می دهد. دامنه کاربردی محصول شامل علوم مواد، علوم زندگی، زمین فیزیک، الکترونیک، علوم انرژی و زمینه های دیگر، دامنه مشتری پوشش موسسات تحقیقاتی، دانشگاه ها، انواع موسسات آزمایش و آزمایشگاه های شرکت های بزرگ صنعتی در سراسر جهان، و به طور گسترده ای در زمینه تحقیقات علمی بین المللی شناخته شده است.

معرفی توزیع کننده:

شرکت اوبوتونگ، شرکت پیشرو خدمات میکرو نانو تکنولوژی در چین است، یک شرکت فناوری بالا با سرمایه گذاری خارجی به عنوان زمینه سرمایه گذاری است که در هنگ کنگ مستقر است و به ترتیب در پکن، شانگهای، لیاونینگ، شاندونگ و غیره دارای شعبه ها و دفاتر است. به عنوان یک شریک استراتژیک مهم میکروسکوپ الکترونیکی سیمرفلای، تجهیزات نمونه سازی میکروسکوپ الکترونیکی اسکن GATAN و تجهیزات تجزیه و تحلیل وابسته در منطقه چین، این شرکت با پایبندی به فلسفه کسب و کار "ایجاد برند فروش ابزار با نفوذ داخلی"، همکاری قوی با سیمرفلای، برند GATAN، در حال ارائه محصولات با کیفیت بالا و خدمات فناوری بین المللی برای ده ها هزار کاربر چینی است.

ویژگی های اصلی محصول:

Solarus یک راه حل تمیز کننده منحصر به فرد است که از فرمول های پلازما استفاده می کند تا برای تمام نمونه ها، از جمله فیلم های کربن Holey، سریع تر و کامل تر تمیز شود. این دستگاه می‌تواند آلودگی‌های روی سطح را به طور ایمن پاک کند و زمان مشاهده نمونه‌های آلوده را افزایش می‌دهد. سیستم خلاء با پمپ های مولکولی همراه با پمپ های دیپارتمان چند مرحله، تأثیر پمپاژ سریع و قابل اعتماد را تضمین می کند. کمتر از 1 دقیقه زمان پمپ و تخلیه، 30 ثانیه - 2 دقیقه زمان تمیز کردن، کل فرآیند 2 دقیقه نیست.

مزایای تمیز کردن پلازما:

افزایش توانایی تصویربرداری

بهبود دقت تجزیه و تحلیل عناصر

در SEM، زمان مشاهده و جمع آوری EDX و EBSD را افزایش می دهد

از لایه های کوچکتر استفاده می شود که برای تجزیه و تحلیل STEM و EELS در TEM / STEM بسیار مهم است.

پارامترهای اصلی محصول:

منبع فرکانس رادیویی: 50 وات با قابلیت تطبیق خودکار قدرت

سیستم خلاء: پمپ مولکولی 70 لیتر در ثانیه با پمپ دو مرحله

فشار هوا: فشار پایه 5E-6 Torr، فشار کاری 400mTorr

قاعده خلاء: قاعده پیرانی جمع و جور

اتاق:

دو رابط جلو برای بارگذاری آداپتور TEM برای بارگذاری عصا نمونه TEM و عصا نمونه SEM

ورودی بالا برای قرار دادن در میز نمونه SEM، قطعات آینه میکروسکوپ یا انواع قطعات خلاء

اندازه کابین 3.5" قطر x 2.0" عمق

پنجره مشاهده جلو می تواند نور پلازما را در هنگام کار مشاهده کند

دریچه الکترومغناطیسی داخلی بین کابین و پمپ خلاء را جدا می کند و زمان پمپ خلاء کمتر از یک دقیقه و زمان تخلیه کمتر از 5 ثانیه است.

کنترل گاز: استفاده از جریان سنج جرم دقیق برای اندازه گیری و کنترل جریان گاز

نوع گاز: استفاده از گازهای مستقل سه مسیر (H2، O2 و Ar)

فرمول های تمیز کردن: ارائه مجموعه ای از فرمول های حاوی H2 / O2 و پشتیبانی از فرمول های سفارشی کاربر

رابط کاربری: استفاده از صفحه لمسی تعاملی، ارائه رابط چند زبانه ای شامل چینی، انگلیسی و غیره

ولتاژ عمومی / فرکانس 100VAC - 240VAC / 50-60Hz / 1000W

مزایای اصلی Solarus در مقایسه با پاک کننده های سنتی پلازما:

فرمول منحصر به فرد H2/O2

دوره تمیز کردن سریعتر (کمتر از دو دقیقه)

3) طراحی صفحه لمسی تعاملی

4) ارائه 7 فرمول عملیاتی یک کلیک آزمایش شده

5.) 2 دریچه نمونه گیری جلویی برای بارگذاری عصا نمونه TEM و SEM

6.) پورت نمونه بالا می تواند چندین (> 25) میکرو شبکه TEM یا میز نمونه SEM / نمونه را بارگذاری کند

7.) منبع رادیو فرکانس با قدرت مطابقت خودکار تضمین پایداری طولانی مدت منبع پلازما

کنترل دقیق جریان گاز (جریان سنج)

9.) تمیز کردن فیلم کربن سوراخ برای آسیب های کوچک

10.) پشتیبانی از چندین زبان (انگلیسی، چینی، ژاپنی، کره ای، فرانسوی، آلمانی)

کاربردهای اصلی محصول:

حذف آلودگی هیدروکربن از میز نمونه TEM و SEM یا نمونه