سیستم OTL-PECVD-1200PECVD شامل کوره لوله خلاء OTL1200، اتاق خلاء کوارتز، منبع برق فرکانس رادیویی، سیستم تامین گاز GX، سیستم پمپ گاز، سیستم اندازه گیری خلاء است.

ویژگی های اصلی:

1، از طریق منبع انرژی رادیویی، گاز در اتاق خلاء کوارتز را به حالت یونی تبدیل کنید.

دمای PECVD کمتر از CVD معمولی برای رسوب گاز شیمیایی مورد نیاز است.

3، می توان از طریق فرکانس منبع قدرت رادیویی، اندازه استرس فیلم ذخیره شده را کنترل کرد.

4، PECVD نسبت به CVD معمولی برای سرعت رسوب گاز شیمیایی بالاتر، یکنواختی خوب، هماهنگی و ثبات بالا است.

به طور گسترده ای در رشد فیلم های مختلف مانند SiOx، SiNx، SiOxNy و سیلیکون غیر استورتویپی (a-Si: H) استفاده می شود.

سیستم OTL-PECVD-1200 PECVD با سیم مقاومت Kanthal سوئد به عنوان اجزای گرمایش، با استفاده از ساختار محفظه دو لایه و 30 بخش برنامه کنترل دما، محرک فاز تغییر، کنترل سیلیکون، کوره با استفاده از مواد فیبر چند کریستالی اکسید آلومینیوم، لوله کوره می تواند فلانج فولاد ضد زنگ را مهر و موم کند، فلانج فولاد ضد زنگ نصب شده در دهانه هوا، دریچه و فشار سنج، خلاء می تواند در زمان پمپ خلاء به 10-3 Pa برسد، دارای تعادل میدان دما، دمای سطح پایین، سرعت دمای بالا و پایین، صرفه جویی در انرژی، قیمت مناسب و غیره.

3) تعادل مقاومت و تعادل دما

(4) اجزای گرمایش: سوئد Kanthal A1 واردات سیم مقاومت (سیم مقاومت می تواند تضمین 2 سال)

هنگامی که مدار بیش از حد جریان یا نشت، خالی به طور خودکار قطع می شود

این کوره مجهز به رابط ارتباطی و نرم افزار است که می تواند به طور مستقیم از طریق کامپیوتر پارامترهای مختلف کوره را کنترل کند و می تواند از کامپیوتر برای مشاهده مقادیر دمای PV و SV و عملکرد ابزار کوره، کامپیوتر منحنی گرمایش واقعی کوره در زمان واقعی نقاشی می شود و می تواند داده های دمای هر لحظه را ذخیره کند، در هر زمان می تواند خلاء را تنظیم کند.

2- استفاده از تکنولوژی ژاپنی

(3) فاصله و فاصله سیم مقاومت در کوره همه مطابق با بهترین فناوری حرارتی ژاپن تنظیم شده است، پس از نرم افزار حرارتی شبیه سازی میدان دما

۴- گرمایش چهار هفته، دمای متعادل تر

(تمام گواهینامه های UL)