سیستم CVD شامل سیستم تغذیه گاز + کوره لوله ای + سیستم پمپ گاز ، حداکثر دما می تواند به 1200 درجه ، 1400 درجه ، 1600 درجه ، 1700 درجه برسد ، منطقه گرمایش می تواند یک منطقه دمایی ، منطقه دمایی دوگانه ، منطقه دمایی سه گانه و غیره باشد ، خلاء حداکثر می تواند به 10-3Pa برسد ، سیستم تغذیه گاز تنظیم جریان می تواند جریان سنج پروتون یا جریان سنج شناور باشد ، تعداد مسیرهای مخلوط می تواند 2 ، 3 ، 4 ، 5 مسیر باشد.
سیستم CVD تک منطقه دمایی KTL-CVD-1400 شامل سیستم تامین گاز سه مسیر + کوره لوله ای KTL1400 + سیستم خلاء است.
(1) ضخامت پایان گرم میله سیلیکون مولیدین D1 7 میلی متر است، تولید کنندگان عمومی 6 میلی متر، ضخامت پایان گرمایش، خم شدن آسان نیست، بار سطحی میله پایین است و عمر طولانی است.
(2) استفاده از فناوری خم شدن گرما، مقاومت یکنواخت، عمر طولانی
(3) ، طول پایان سرد Lu 210 میلیمتر است، کوره 400X300X300 260 است، تولید کنندگان عمومی از 180 میلیمتر استفاده می کنند، دمای بالای کوره سرد پایین است.
(4) ، اکسیداسیون سطح میله سیلیکون مولیدین فلم غیر کریستالی تراکم، می تواند به خوبی محافظت از میله سیلیکون مولیدین.
هنگامی که مدار بیش از حد جریان یا نشت، خالی به طور خودکار قطع می شود
اجاق لوله اتمسفرامامجهز به رابط ارتباطی و نرم افزار، می تواند به طور مستقیم از طریق کامپیوتر پارامترهای مختلف اجاق را کنترل کند و می تواند از کامپیوتر برای مشاهده مقادیر دمای PV و SV اجاق و عملیات ابزار، کامپیوتر منحنی گرمایش واقعی اجاق در زمان واقعی نقاشی می شود و می تواند داده های دمای هر لحظه را ذخیره کند، در هر زمان می تواند از
(1) ، با کیفیت بالا و با کیفیت بالا و با کیفیت بالا و با کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا
2- استفاده از تکنولوژی ژاپنی
(3) ظرفیت حرارتی مواد کوره کم، ضریب انتقال حرارتی پایین، بنابراین تخفیف گرما کمتر، عایق خوب، بازتاب بالا است. تعادل دمایی
(4) ، سیم آکسید آلومینیوم کوره نازک و طولانی، مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر افزایش گرما ظرفیت سرد قوی
(5) سطح اجاق تمیز است و پودر را به راحتی از بین نمی برد.
(تمام گواهینامه های UL)