مدل

K1000A

K1000B

K1000C

مشخصات جریان (تبدیل جریان N2)

Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM

بن 2: 30 SCCM ~ 100SCCM

Bin 6: 3SLM ~10SLM

60SLM 、100SLM、

200SLM、300SLM、

Bin 3: 100SCCM~300SCCM

Bin 7: 10SLM~ 30SLM

Bin 8: 30 SLM ~50SLM

150SLM、200SLM

400SLM、500SLM

600SLM، 1000SLM (N2، H2، هوا و غیره)

Bin 4: 300 SCCM ~1SLM

Bin 5: 1SLM ~3SLM

نوع دریچه

N/O: معمولا باز، N/C: معمولا بسته

N/C: معمولا بسته

محدوده کنترل جریان

2%～100%F.S.

دقت

100%～25%：±1.0% of S.P.，
25%～2%：±0.25%F.S.
(محدوده دقت 15 تا 35 درجه سانتیگراد)

± 1٪ FS (محدوده دقت 15 تا 35 ℃)

± 2٪ FS (محدوده دقت 15 تا 35 ℃)

دمای محیط کار

5～50℃

5～45℃

زمان پاسخ

≦1sec

≦3sec

خطی

±0.5%F.S.

دقت تکرار

±0.2%F.S.

محدوده فشار کاری

N/O100 تا 300KPa (3SLM تا 10SLM)

50 تا 300KPa

N/O150 تا 300KPa (11SLM تا 30SLM)

200～300KPa

(آر: 100 تا 300KPa)

N/C100 تا 300KPa (3SLM تا 30SLM)

（Ar: 250～450KPa）

100 تا 300KPa

150 تا 300KPa

300～450kPa (H2：150～300kPa)

（Ar 200～3500KPa）

ضریب دما

Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃

حداکثر فشار کاری

400KPa（Ar:500KPa）

700KPa

مقاومت در برابر فشار

1MPa

نرخ نشت

مهر و موم فلزی: 1 × 10^－11Pa・m³/sec He (1×10^－10atm・cc/sec He)

مهر و موم حلقه لاستیکی: 1 × 10^-7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

مهر و موم حلقه لاستیکی: 1 × 10^－7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

مواد مهر و موم

مهر و موم فلزی؛ فلور لاستیک؛ نئوپرین

فلور لاستیک؛ نئوپرین

فرم ارتباطات

آنالوگ: 0 ~ 5V DC دیجیتال: RS485، DeviceNet، EtherCAT

آنالوگ: 0 ~ 5V DC دیجیتال: RS485، DeviceNet

منبع برق

آنالوگ / دیجیتال: + 15VDC 50mA ، -15VDC 200mA؛ DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)

شکل اتصال استاندارد

VCR 1/4 اتصال خورشیدی، دو کارت 1/4 اتصال خورشیدی، 1.5 '' W-Seal، 1.125 '' W-Seal، 1.125 '' C-Seal

VCR 3/8 اتصال خورشیدی، دو کارت 3/8 اتصال خورشیدی

VCR 1/2 اتصال خورشیدی

وزن

1.0kg

3.0kg

3.7kg