شرکت هیتاچی در 15 آوریل 2016 میکروسکوپ الکترونی اسکن جدید FlexSEM 1000 را در سراسر جهان معرفی کرد. این محصول ساختار جمع و جور، مساحت کوچک، اما وضوح از دست دادن الکتروسکوپ بزرگ، در حالی که عملیات بسیار ساده، تقریبا بدون آموزش قابل استفاده است. طراحی جمع و جور با وضوح 4 nm.
میکروسکوپ الکترونی اسکن می تواند سطح مواد را با نرخ افزایش بالا و تجزیه و تحلیل عناصر با دقت بالا مشاهده کند و در زمینه های نانوفناوری، علوم زندگی، طراحی محصول و تجزیه و تحلیل خرابی کاربردهای گسترده ای دارد. در سال های اخیر، نیاز به الکتروسکوپ اسکن برای مشاهده ساختار ظریف سطح و تجزیه و تحلیل عناصر افزایش یافته است، در حالی که تعداد فزاینده ای از کاربران می خواهند از میکروسکوپ الکترونیکی اسکن در فضاهای محدود مانند خطوط تولید، خطوط بازرسی کیفیت و مناطق اداری استفاده کنند. بنابراین میکروسکوپ الکترونی اسکن کوچک، آسان و با وضوح بالا مورد توجه قرار می گیرد. FlexSEM 1000 دارای عرض 450 میلی متر و طول 640 میلی متر، حجم 52 درصد کمتر در مقایسه با مدل SU1510، وزن 45 درصد کاهش یافته و مصرف برق 50 درصد کاهش یافته و دارای رابط برق استاندارد شده است. میزبان و منبع تغذیه می توانند جدا شوند و نصب بسیار انعطاف پذیر است.
FlexSEM 1000 دارای جدیدترین سیستم نوری الکترونیکی طراحی شده و آشکارسازهای با قابلیت اطمینان بالا و حساسیت بالا با وضوح تا 4 نانومتر است. FlexSEM 1000 دارای قابلیت های اتوماسیون متعددی است که عملیات آن را آسان می کند و حتی برای اولین بار نیز می تواند تصاویر با کیفیت بالا را به سرعت بگیرد. علاوه بر این، قابلیت ناوبری SEM MAP که تازه توسعه یافته است، می تواند با استفاده از تصاویر نوری یا عکس های الکتروسکوپی مختلف ناوبری کند و با یک کلیک به سرعت و دقت به میدان های دید با بزرگی بالا تبدیل شود.

ویژگی ها:

آشکارساز الکترونیکی دوگانه با حساسیت بالا، آشکارساز پراکندگی عقب، آشکارساز خلاء کم (UVD)^*2مشاهده تصویر با کیفیت بالا در ولتاژ شتاب پایین / خلاء پایین

b. کاربرد ساده، حتی تازه کاران می توانند تصاویر با کیفیت بالا بگیرند

c. قابلیت ناوبری جدید SEM MAP برای قفل کردن سریع افق

پنجره بزرگ (30 میلی متر)²سیستم طیف انرژی SDD برای تجزیه و تحلیل سریع عناصر^*2

*1 هنگام تنظیم روی دسکتاپ، میزبان و جعبه برق را جدا کنید

*2 انتخاب

پروژه		محتوای
توانایی تجزیه*3		4.0 nm @ 20 kV (SE: حالت خلاء بالا) 15.0 nm @ 1 kV (SE: حالت خلاء بالا) 5.0 nm @ 20 kV (BSE: حالت خلاء پایین)
ولتاژ شتاب دهنده		0.3 kV ～ 20 kV
بزرگ‌سازی		6 × تا 300,000 × بزرگ سازی فیلم 16× - 800,000× (نمایش مقیاس)
حالت خلاء کم		محدوده خلاء: 6 تا 100 Pa
اسلحه الکترونیکی		پیش جفت سیم چراغ تنگستن
نمونه		موتور اتوماتیک 3 محور X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90°
حداکثر اندازه نمونه		قطر 80 میلی متر
حداکثر ارتفاع نمونه		40 mm
اندازه		میزبان: 450(W) x 640(D) x 670(H) میلی متر واحد تغذیه: 450(W) x 640(D) x 450(H) mm
انتخاب آشکارساز		آشکارسازهای الکترونیکی دوگانه کم خلاء با حساسیت بالا (UVD) آشکارساز اشعه ایکس پراکنده انرژی (EDS)