کنترل کننده ضخامت فیلم
ویژگی های فنی:
1. عملیات صفحه لمسی کامل، آسان برای استفاده؛
2.32یک سیستم، هر سیستم50/100پوشش خودکار لایه؛
3. 12ورودی سیگنال جاده/12خروجی سوئیچ مسیر؛
4. حالت کنترل کاملا خودکار، نیمه خودکار و دستی;
5.کنترل پذیر2یک منبع، یک مجموعه کار مجموعه پیش محلول دیگر؛
پارامترهای فنی
|
کنترلر CY-FDC-S |
فرکانس لرزش کریستالی |
6MHz (اختیاری 2.5M 3M 5M 9M کریستال) |
روش نمایش |
صفحه لمسی رنگی 5 اینچ + سرعت نمایش لوله دیجیتال و ضخامت واقعی |
روش عملیات |
صفحه لمسی |
ضخامت پایان |
00μ0000Å-99μ9999Å |
وضوح نمایش ضخامت |
1Å/s |
رزولوشن نمایش سرعت |
0.1Å/s |
تعداد لایه های پوشش |
32 صفحه، هر صفحه 50/100 لایه؛ |
تعداد ساند |
A B |
عامل ابزار |
0.01-99.99 |
نمایش زمان |
00:00:00-23:59:59 H:M:S |
نمایش قدرت |
0~99.9% |
قدرت پیش ذوب |
0~99% |
قدرت پیش پوشش |
0~99.9% |
زمان پیش ذوب / زمان پیش پوشش |
0~99:99 m:s |
زمان عایق پیش ذوب / زمان عایق پیش پوشش |
0~99:99 m:s |
سرعت پوشش (سرعت تنظیم) |
0~999.9Å/s |
ذخیره سازی مواد |
257 + 10 نوع سفارشی |
ارتباطات |
RS232/RS485 |
منبع تبخیر کنترلی |
2، یک مجموعه کار می تواند مجموعه دیگر از قبل محلول |
کنترل خروجی |
±10V/5V/2.5V |
I/رابط |
ورودی سیگنال 12/خروجی سوئیچ 12 |
تعداد سوزن های قابل کنترل |
1 تا 16 نفر |
نمایش پوشش |
منحنی سرعت/مقدار |
تعداد سفرهای پوشش |
50/100 لایه خودکار |
اندازه کابینه |
480 × 280 × 89 میلی متر (2U 19 "کاشی) |
ویژگی های ویژه:
1دستی، نیمه خودکار، خودکار3نوع حالت پوشش، برای برآورده کردن چندین پیکربندی ماشین پوشش؛
2پوشش مصنوعی: پوشش مصنوعی در طول پوشش؛
3کنترل دستی: تعیین الزامات اولیه فرآیند پوشش؛
4سیستم پوشش قطع: مشکل یا خرابی در پوشش اتوماتیک و نیمه اتوماتیک پیدا می شود، پوشش را متوقف می کند و می تواند به طور خودکار وضعیت فعلی را ذخیره کند، پس از خرابی **، می تواند پوشش را از سیستم پوشش قطع ادامه دهد؛
5پوشش اتوماتیک یا نیمه اتوماتیک، اگر ارتعاش کریستالی ناتوان باشد، می توانید پوشش را با پایان دادن، پوشش را با زمان قدرت فعلی، تغییر تراشه را ادامه دهید (ساند چند تراشه) ؛
6دو منبع به طور همزمان ذوب می شوند: در طول شروع پوشش لایه فعلی، می توانید به طور همزمان انتخاب کنید.2لایه پیش ذوب شده برای برآورده کردن موقعیت های تنش در مورد نیاز به زمان؛
7حفاظت از رمز عبور: سیستم غشاء و پارامترهای لایه غشاء عملکرد حفاظت از رمز عبور، حفاظت از پارامترهای فرآیند توسط کارکنان غیر فرآیند اصلاح نمی شود؛
8ثبت داده های پوشش: هنگام پوشش اتوماتیک یا نیمه اتوماتیک، سیستم می تواند زمان ایجاد فیلم برای هر لایه و پارامترهای نرخ ضخامت نهایی را ثبت کند.