مزایای
محصولات CS100 با طراحی سفارشی مشتری
• مشتریان می توانند از منبع تغذیه دوگانه ± 15 ولت یا منبع تغذیه تک + 24 ولت بر اساس نیاز خود انتخاب کنند.
• مهر و موم فلزی یا مهر و موم لاستیکی؛
اندازه محصول می تواند با محصولات مطابق با استانداردهای بین المللی SEMI یا محصولات تنگ کننده انتخاب شود.
پارامترهای فنی
CS100 |
||||||||||||||
مدل |
CS100A |
CS100D |
||||||||||||
نوع دریچه |
اغلب بسته |
هیچ |
اغلب بسته |
هیچ |
||||||||||
مشخصات جریان (N2) |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
||||||||||||
دقت |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.) |
|||||||||||||
خطی |
±0.5% F.S. |
|||||||||||||
دقت تکرار |
±0.2% F.S. |
|||||||||||||
زمان پاسخ |
≤ 1sec |
|||||||||||||
محدوده فشار کاری |
0.05~0.35MPa; مشخصات جریان ≤10SLM |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa; مشخصات جریان ≤10SLM |
<0.02 MPa |
||||||||||
ضریب دما |
نقطه صفر: ≤ ± 0.05٪ FS / ℃؛ تنظیم: ≤ ± 0.1٪ FS / ℃ |
|||||||||||||
مقاومت در برابر فشار |
3MPa |
10MPa |
3MPa |
10MPa |
||||||||||
نرخ نشت |
1×10-9Pa·m3/ sec He(1×10-8atm·cc / sec He) |
|||||||||||||
مواد مهر و موم |
فلور لاستیک |
مهر و موم فلزی |
||||||||||||
حداکثر فشار کاری |
0.45MPa |
|||||||||||||
دمای محیط کار |
(5~45)℃ |
|||||||||||||
سیگنال ورودی |
شبیه سازی: |
شماره: RS485 |
هیچ |
هیچ |
شبیه سازی: |
شماره: RS485 |
هیچ |
هیچ |
||||||
سیگنال خروجی |
شبیه سازی: |
شماره: RS485 |
شبیه سازی: (0-5) VDC |
شماره: RS485 |
شبیه سازی: |
شماره: RS485 |
شبیه سازی: |
شماره: RS485 |
||||||
نوع اتصال برق |
نوع D 9 نوع D 15 |
نوع D 9 نوع O 3 سوزن |
نوع D 15 |
نوع D 9 نوع D 15 |
نوع D 9 اتصال اتصال 3 پین نوع O |
نوع D 15 پین اتصال |
نوع D 9 نوع D 15 |
نوع D 9 نوع O 3 سوزن |
نوع D 15 |
نوع D 9 نوع D 15 |
نوع D 9 اتصال اتصال 3 پین نوع O |
نوع D 15 پین اتصال |
||
منبع برق |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
||
پاک کردن خودکار |
پشتیبانی |
|||||||||||||
خشونت سطح |
25μinch Ra |
|||||||||||||
شکل اتصال استاندارد |
کارت دوگانه φ6 کارت دوگانه φ3؛ کارت دوگانه 1/4'؛ کارت دوگانه 1/8'؛ اتصال خورشیدی VCR1/4'؛ φ6 (داخلی) x1 اتصال لوله؛ φ5 (داخلی) x1.5 اتصال لوله؛ φ4 (داخلی) x1 اتصال لوله |
اتصال VCR1/4″ |
||||||||||||
وزن |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |